Rézkarc - szilikon - egy nagy enciklopédiája olaj és gáz, papír, oldal 1
Rézkarc - Szilícium
szilícium maratás zajlik, természetesen, és a keverékeket lúgos oxidáló szerekkel, például peroxidot, de nem előny, összehasonlítva a tiszta alkáli ezek a kompozíciók nem, és ezért ritkán használják. Ez marató, mint a legtöbb más, szelektív. [1]
Szilícium Savmaratáshoz vizes oldatokban hidrogén-fluorid elegyében hidrogén-fluorid és ecetsav (1: 1)., 10% - SG HF oldat etanolban, stb Az elektrolit polírozáshoz szilícium 0 5 - 3% - Naja fluorsav 30 % glicerin. [2]
Szilícium Savmaratáshoz vizes oldatokban hidrogén-fluorid elegyében hidrogén-fluorid és ecetsav (1: 1)., 10% - SG HF oldat etanolban, stb Az elektrolit polírozáshoz szilícium 0 5 - 3% - Naja fluorsav 30 % glicerin. [3]
A szilícium maratás keverékének alkalmazásával oldatot hidrogén-fluorid, salétromsav és ecetsav. Ábra. 3,102 mutatja a maratás mértéke az említett három-komponensű rendszerek minket, és egy olyan rendszer, amely vizet ecetsav helyett. [5]
A marató szilícium számos kombinációjának felhasználásával salétromsav és hidrogén-fluorid. A növekedés relatív tartalmának hidrogén-fluorid sebesség - fedélzeti növekszik, de a savas ellenállása fényérzékeny nada. [6]
Silicon maratási sebesség az ezüst-glikol maratószert ábrán látható. [7]
Az elv a maratás szilícium és germánium, alapján a felület oxidációja és az ezt követő eltávolítása ezen oxidok, így a etchants kell tartalmaz olyan anyagokat, oxidáljuk az anyagok felületét, és feloldjuk a kapott oxidokat. Továbbá, etchants injektált komponensek, amelynek elsődleges célja a gyorsítás vagy lassítás a maratási reakció. Maratás után kristályokat alaposan mostuk, majd szárítottuk. [8]
A növekvő szilícium koncentrációja a maratási sebesség a NaOH-oldattal növeljük, azonban növeli a nátrium-hidroxid koncentrációja az oldatban több mint 30% a maratási sebességet növeljük. Ezért, a szilícium használják marató oldatok, amelyek 10 és 30% nátrium-hidroxid vagy kálium-hidroxid. [10]
Még alacsonyabb hőmérsékleten az szilícium maratási lehetővé teszi a hidrogén-jodid keverékét hidrogénnel 80% (vol. 900 C-on, és a hidrogén-jodid-koncentráció körülbelül 1% (térfogat. At koncentrációjú hidrogén-fluorid feleslegét 1 2% (Vol. [12]
Azonban a hidrogén-peroxid nem használható szilícium maratással. mert nem lépnek vele. Táblázat. A 2. ábra a készítmények néhány polírozási és szelektív etchants a szilíciumot. [14]
Az okok közötti eltérések a kísérleti és számított egy diffúziós modellt, és a növekedési ráta szilícium maratással. A kísérletek modellezés egyensúlyi növekedési - az áramlás a maratási feltárta, hogy a bemeneti a gázkeverék (S1C14 - HC1 - H2) felel meg a nulla növekedési üteme szilícium eltérnek termodinamikailag egyensúlyi összetétele a gázfázisú rendszer szilícium - klór - hidrogénatom. Azt találtuk, hogy a számítás a növekedést, valamint maratási a diffúziós modell minimális nem értenek egyet kísérlet történt, ha a kiszámított arány a termodinamikai egyensúly összetétele a gázkeverék helyére egyensúlyi állapotban lévő készítményt meghatároztuk a tényleges körülmények, és abban az esetben, maratással korrekció, amely figyelembe veszi a kisebb vastagsága a határréteg szilícium-diklorid. [15]
Oldalak: 1 2 3 4