A porlasztott anyag nagy olaj és gáz enciklopédia, cikk, 3. oldal
Mivel a szemcsék permetezzük anyagot a plazma folyam 10-10 másodperc, jelentős romlásához vagy változásokat a por összetétele a magas hőmérséklet miatt nem fordul elő. [34]
A módszer a permetezés nyílt vákuumforrás anyagot behelyeztük egy hideg kamra falában, és a szubsztrátum hőmérséklete jóval alacsonyabb, a forrás hőmérséklete. Ilyen körülmények között a gőznyomása a permetezés anyagot a kamrában alacsony, például szerinti [65], ólom-tellurid a forrás hőmérséklete és a szubsztrát, illetve 800 ° C és 370 C hatékony gőznyomása a szubsztrát 04-01 március (T5 Thor Ebből következik, hogy a. egy eljárás, nyitott vákuum szabad úthosszát a gőz molekulák sokkal nagyobb, geometriai méreteit napylitelnoy kamra és áramlását az anyag az elpárologtatóból a szubsztrát, valamint az áramlás a hatóanyagnak a hordozó reisparyayuschegosya jelentése molekuláris gerendák, amelyben részletekben lógiai szaporítása gyakorlatilag ütközések nélkül. Ebben a kondenzáció történik a hordozó anyag egy lényegében nem-egyensúlyi körülmények között. [35]
Nyitott vákuumos módszerrel a lerakódott anyag forrását hideg falakba helyezzük, és a szubsztrátum hőmérséklete jóval alacsonyabb, mint a forrás hőmérséklete. Ilyen körülmények között a gőznyomása a permetezés anyagot a kamrában alacsony, például szerinti [65], ólom-tellurid a forrás hőmérséklete és a szubsztrát, illetve 800 ° C és 370 C hatékony gőznyomása a szubsztrát 04-01 március (T5 Thor Ebből következik, hogy a. egy eljárás, nyitott vákuum szabad úthosszát a gőz molekulák sokkal nagyobb, geometriai méreteit yaapylitelnoy kamra és áramlását az anyag az elpárologtatóból a szubsztrát, valamint az áramlás a hatóanyagnak a hordozó reisparyayuschegosya jelentése molekuláris gerendák, amelyben részletekben lógiai szaporítása gyakorlatilag ütközések nélkül. Ebben a kondenzáció történik a hordozó anyag egy lényegében nem-egyensúlyi körülmények között. [36]
A permetezett anyagot folyamatosan tápláljuk be a plazma sugár zónájába. A plazma olvadt fémrészecskéket a plazma sugár magába foglalja, és a rész felszínére nagy sebességgel permetezik. [37]
A táblázatban. A 31. ábra bemutatja a permetezendő anyagok főbb paramétereit és az ezek alapján előállított vékonyréteg-kondenzátorokat. [39]
Az elektromos íves fémezés módszere a permetezett anyag (csak huzal) elektromos ív általi megolvadásán alapul és a termék felületére egy gázsugárral történik. Az elektroakk fémezésnél a bevonatot elektromos íves fémesítő berendezéssel alkalmazzák. [40]
A gázfémezés folyamata a permetezett anyag gázzal való lángolásán alapul, és a termék felületére sűrített levegő sugárral történik. A bevonandó anyag a bevonatokhoz huzalok, porok, rudak. A lángszórást a tengelyek, a csúszó csapágyak, a forgattyús tengelyek, a hengeres bélések és egyéb alkatrészek tengelyeinek helyreállítása során bevonatok készítésére használják. [41]
A gázlángszórás lényege, hogy a porlasztott anyagokat gázlánggal melegítik, és egy rekonstruált felületre egy sűrített gáz sugárát alkalmazzák. [42]
Mozgó szubsztrátumokat, maszkokat és a permetezett anyag megváltoztatását egy szub-scoop eszköz mechanizmusaival végezzük. A kazettából (33 szubsztrátumot tartalmazó) szubsztrátumokat felváltva egy szállítási mechanizmus segítségével fogadják a lerakó állomáson. A hat különböző maszkkal ellátott körhordó eszköz lehetővé teszi a rétegek szórását az aljzatra minden párologtatóból és bármilyen sorrendben. A teljes technológiai cikluson átesett szubsztrátot visszahelyezik a kazettába, és egy lépéssel együtt mozog. [43]
A módszer abban áll, hogy a porlasztott anyag keverékét egy vákuumkamrában (nyomás 133 - 10 - - 133 - Yu 6 Pa) olyan hőmérsékletre, amely a fém gőznyomás kellően magas ahhoz, hogy lecsapódik a hideg mintán. Mivel a porlasztást vákuumban hajtják végre, számos olyan tényező kizárható, amelyek befolyásolják a szubsztrát kémiai összetételének változását, valamint a lerakódott anyagot. [45]
Oldalak: 1 2 3 4