Módszerek egykristály orientáció a krisztallográfiai síkok
A termelés az eszközök és áramkörök felhasználásával félvezető anyagok adalékolt különböző szennyeződések, ami lehetőséget-ség lényegesen megváltoztatja az ezen anyagok tulajdonságait. Azonban, az alapjait NYM anyag gyártásához az integrált áramkörök (IC-k) és a Microsystems eddig szilícium. Azt pN ház tulajdonságok, ami lehetővé teszi, hogy könnyen létre dielektromos rétegek elfedésére szennyeződések behatolása és védik a felületet-sti befolyásolja a külső környezet, a magas működési TEM-mérséklet (150 ° C). Ezért a technológia szilícium-integrandus szerves elemeket kell venni ebben a kézikönyvben.
Szilícium van egy gyémánt kristályrács, Koto-paradicsomban úgy reprezentálható, mint két lapcentrált köbös rács, amelyek el vannak tolva egymáshoz képest 1/4 a fő átlója a kocka. Cube rácsparaméter egy 0,54 nm-es (kocka élhosszúságú), és a dis-távolság két legközelebbi szomszédos atomok 0,23 nm. Minden egyes atom kötődik négy legközelebbi szomszédok a kovalens kötések, helyét képest a atom a csúcsai egy szabályos tetraéder (ábra. 1.1).
A köbös rács szilícium kényelmes szétválasztani a legjellemzőbb síkok és irányok, úgynevezett Miller indexek (ábra. 1.2). Ha a származási helye kocka élek km vágási egységet hossz mentén koordinátatengelyek, síkja kép a vezetőképes arc a kocka lesz az egyik koordinátatengelyek, például X, értéke 1, és a többi sík párhuzamos. Fordítják meg a lehallgatott síkjai a tengelyek 1,0,0 (Fig.1.2, a) erre kristálytani sík. Ez a Miller indexek a kocka. Ennek megfelelően, az átlós síkja a kocka (. Ábra 1.2b), ezeket az indexeket a 1,1,0 részt, és a síkok, elzáró az egység intervallum mindhárom tengely (1.2 ábra a) - 1,1,1.
szilícium atomok tetraéderes orientációban kovalens kötések; - szubsztitúciós szennyező ábra. 1.1. szilícium rácsos sematikus ábrázolása pre-
Az indexeket zárójelbe: (100) (110) (111). Ha beszélünk a rendszer azonos kristálytani síkok, a használata fogszabályozó ,. Irány, a sáv-merőlegesen ezek a síkok azonos indexek, de szögletes zárójelben: [100] [110] [111] irányból egy családi-ODI Nakova indexek - a háromszög zárójelben: <100>, <110>, <111>. Ez a három síkok és irányok a legfontosabb-Stull Cree szilícium és elsősorban gyártásához szilícium integrált áramkörök. Sok technológiai folyamatok változóan különböző kristálytani irányokkal felületén a szilícium ostya. Bipoláris IC tipikusan használt orientáció felületével párhuzamos (111), hogy a TIR-sósav áramkörök előnyös választás a tájolását a felület sík (100).