Filmkutatások
A film-IC-k dielektromos szubsztrátja (lemez) (üveg, kerámia stb.). Passzív elemek, azaz ellenállásokat, kondenzátorokat, tekercseket és az elemek közötti kapcsolatokat, különböző hordozóra fektetett filmek formájában. Az aktív elemek (diódák, tranzisztorok) nem filmek. Így a film IC-k csak passzív elemeket tartalmaznak.
Általában különbséget kell tenni a vékonyréteg-IC-k között. amelyben a filmvastagság nem több, mint 2 μm és vastag film. amelyben a filmek vastagsága sokkal nagyobb. Az ilyen IC-k közötti különbség nem annyira a filmek vastagsága, mint az alkalmazások különböző technológiáiban. Vékony film IC-k # 8210; Ezek azok az áramkörök, amelyek elemei az összekötőkkel együtt vékony filmek (vezetőképes, ellenállóképes, dielektromos és félvezető) formájában készülnek, különböző anyagokból, amelyeket egy közös üvegre vagy kerámia alapra helyeznek. Az ilyen típusú rendszereket megfelelő maszkkal ellátott vákuumban permetezzük. A hordozók 0,5 ± 0,8 mm vastagságú, 1,0 mm vastagságú dielektromos lemezek, óvatosan őröltek és polírozottak.
A film ellenállások előállításánál az ellenállóképességet a hordozóra visszük fel. Ha az ellenállás ellenállása nem túl nagy, akkor a film nagy ellenállóképességű fémötvözetből készül, például nichrome-ból. A nagy ellenállású ellenállásokhoz fém-ötvözet és kerámia keverékét használják. Az ellenállásos film végein a következtetések olyan fémfilmek formájában készülnek, amelyek az ellenállást más elemekkel összekötő vezetékek. A filmellenállás ellenállása függ a film vastagságától, szélességétől és hosszától, anyagától.
A filmellenállások ellenállását speciális egységekben - ohm per négyzetméterben (Ohm / kV) fejezzük ki, mivel ez a film négyzet alakú ellenállása nem függ a négyzet nagyságától. Valójában, ha a négyzet oldalát például kétszer olyan nagy méretűre állítjuk be, az aktuális úthossza felére nő, de a film keresztmetszete is duplázódik, ezért az ellenállás változatlan marad.
A vékonyréteg-ellenállások kiválóak a pontosság és stabilitás szempontjából a vastag film ellenállóknál, de termelésük bonyolultabb és drágább. Vékonyréteg-ellenállásoknál az ellenállás 10-300 ohm / négyzetméter lehet. A gyártásuk pontossága az illeszkedéstől függ. Az illesztés az, hogy más módszerrel az ellenállóképes réteget részlegesen eltávolítjuk, és az ellenállást szándékosan valamivel kisebb mértékben növeljük, mint a szükséges értékeket a szükséges értékre. Hosszú ideig az ellenállások ellenállása kissé eltér.
A vastag film ellenállások ellenállása 2 ohm - 1 megohm négyzetméterenként. Időbeli stabilitásuk rosszabb, mint a vékonyréteg ellenállásoké.
A filmkondenzátorok általában két lemezből készülnek. Az egyiket szubsztrátumra viszik fel, majd egy dielektromos filmet viszünk rá, és egy második bevonatot helyezzünk rá, amely tartalmazza az első, összekötő vezetőelemeket is. A dielektromos kondenzátorok vastagságától függően vékony és vastag film. A dielektrikum hagyományosan szilícium, alumínium vagy titán oxidja. A fajlagos kapacitás négyzetmilliméterenként több tízezer ezer picofaradból állhat, és ennek megfelelően 25 mm2 kondenzátor területével elérheti a névleges kapacitást, akár több százezer tízezer picofarad esetében. A gyártás pontossága ± 15%.
A filmtekercsek lapos spirálok formájában készülnek, leggyakrabban téglalap alakúak. A vezető szalagok és lumenek szélessége között több tíz mikrométer van. Ezután a fajlagos induktivitás 10 μm, 20 μH / mm2, 25 mm2-es tartományban 0,5 mH-ig induktivitást kapunk. Általában ezek a tekercsek nem több, mint néhány mikrogén induktivitással készülnek. Növelje az induktivitást egy ferromágneses film tekercsével, amely betölti a mag szerepét.