vákuum mérése
Vákuum (a latin vákuum - vákuum) nevezett állapot rarefied gáz, ahol a nyomás is az atmoszferikus nyomás alatt. A mennyiségi jelleggörbe abszolút vákuum.
Az alacsony nyomású technikával a gyakran használt kifejezések, mint: „Pressure mínusz a negyedik, ötödik szivattyúzzák mínusz.” Arra utal, hogy nyomás vákuumos rendszerrel, illetve 10 -4 és 10 -5 Hgmm. Art. Jellege fiziko-kémiai folyamatok vákuumban arányától függ közötti ütközések számát a maradék gáz molekulák a falak a tartály és a számát kölcsönös ütközések molekulák. Ez az arány általában leírja a molekulák száma ebben a térfogat (vákuum kamra). Számszerűen, ez az összefüggés jellemzi az arány a szabad úthossza molekulák jellemző Rtg (meghatározza) a lineáris méret a mennyiség a kérdéses s. Ez az összefüggés az alapját képezi a vákuum elkülönített területek alábbi tartományokban lehet: alacsony, közepes, magas és ultra vákuumban.
Alacsony vákuum - λ <> S - megfelelő nyomás 0,1 és 10 ~ 5 Pa. Ultrahigh vákuumot azzal jellemezve, hogy nincs észrevehető változás a felületi tulajdonságok eredetileg-sósav szabadságainak adszorbeált gáz idő alatt jelentős kérdéses folyamat. Azáltal UHV régió tartalmaz egy nyomás alatti 10 -5 Pa.
A vákuum mértéke elérte a mennyiség szivattyúzott határozza meg az egyensúlyi nyomás hatása alatt meghatározza legalább három folyamatok: 1) a gáz kiürítési szivattyúk segítségével (vagy annak bármely abszorpció); 2) Szivárgás gáz át a hiányosságok a jelen képernyőn; 3) outgassing a tartály falai (vagy gazoproniknoveniya rajta).
Meg kell jegyezni, hogy ez teljesen feszes szopni-nek nem létezik. Szintén fontos a fogalom a „tisztasága” a vákuum. Az a tény, hogy segítségével különböző típusú mechanikus vagy diffúziós szivattyúval szivattyúzott térfogatot a molekulában beléphet a szivattyú munkaközeg, mint az olaj, és így torzítja az összetétele a maradék gáz. Továbbá, meg kell jegyezni, hogy a pumpálási sebességet a különböző gázok változik, és a kiindulási a szivattyú térfogata levegővel töltött, amelyben a bázikus nitrogénatom komponensek (
20%) nyomáson körülbelül 10 -5 Hgmm. Art. A kamra kapott egy teljesen más arány a maradék komponensek.
Mérő készülék a nyomást, majd, valamint a légköri nyomás alatti, úgynevezett mérők. Vákuum áll egy nyomásátalakító (PD), és a mérési blokk (IB). PD - eszközök csatlakoztatható a vákuum kamrába közvetlenül érzékelő nyomás és átalakítani, hogy egy másik fizikai mérendő mennyiséget. IB - egy eszközt, amely a kért PD módban, amplifikáció és megmérjük annak kimenete.
Gauges szerint osztályozzák elvének cselekvés és a nyomás mérési módszer. Szerint a mérési módszerek eltérőek szelvények alapján abszolút vagy közvetett mérések.
Az első csoportba tartoznak mérők közvetlenül mérik a nyomást, mint a ható erő a felszínen a érzékelőelem. Ezt a folyékony, és a nyúlásmérő bélyegek Holtteher jellemezve függetlenségét jelzések a fajta maradék gáz. A legalacsonyabb nyomás mérhető eszközök a csoport 10 -4 - 10 -5 Pa.
A második csoportba tartoznak a mérők, amelynek a működését alapul a használata bizonyos paraméterek a fizikai folyamatok a nyomás. Ez ionizációs, viszkozitás, és radiometrikus termál vákuum.
Jelzések felmérni indirekt mérési módszer jellegétől függ a maradék gáz. Osztályozás ilyen eszközök rendszerint úgy hajtjuk végre, hogy a levegő vagy nitrogén, és a használt korrekciós tényezők mérésére a nyomást más gázok. Az ilyen berendezések a csoport lehetővé teszi, hogy megmérjük azt a nyomást, hogy 10 -12 Pa. A működési elve a folyékony mérők (ábra. 6.19) alapul egyensúlyba a mért nyomás (vagy nyomáskülönbség) a folyadék nyomása oszlop. A mért nyomás alapján ítélik meg a magassága a folyékony oszlop kiegyenlítő.
rosteyshiyU alakú szelvény egy ívelt U alakú üvegcső állandó keresztmetszetű, folyadékkal töltött. A belső cső átmérője annak érdekében, hogy elkerüljük a hibákat okozta kapilláris erők, nem lehet kevesebb, mint 7 mm. Az egyik végén a cső csatlakozik egy vákuum-rendszer (PX), és a másik lehet nyitott vagy zárt. A nyomás a zárt térd legyen lényegesen kisebb, mint a mért. A mért nyomás a következőképpen számítjuk ki:
Ábra. 6.19. működési elve
zárt térd -
ahol RA - légköri nyomás;
A tartomány a mért nyomás értékek függnek a folyadék a geometriai méretei a készülék és mérési módszerét a szintkülönbség, amely különböző módszereket - a szokásos vonalzó milliméter szétválására interferencia módszerek. Az utóbbi esetben, a pontosság a referencia szintek
10 -5 mm és a mérési nyomás felső határértéke 10 -3 Pa.
Mivel a munkaközeget közül van kiválasztva: folyékony, alacsony gőznyomás és alacsony kapacitása feloldjuk a gázt. Nyomás mérésére közel légköri nyomáson, kell választani egy nagy sűrűségű folyadék (általában a higany), és mérésére az alacsony nyomások - egy folyadékot minimális sűrűségű (gyakran alkalmazásával vákuum olaj).
A nyúlásmérő nyomás határozza meg a deformáció a rugalmas elem előforduló hatására a nyomáskülönbség. Ilyen mérőeszközök megkülönböztetni a szenzor típusától és a törzs mérési módszer.
A típusú érzékelő - cső, fújtató, membrán. A cső alakú és a harmonika szondák mozgatható rész rendszerén keresztül a fogaskerekek csatlakoztatva egy nyíllal, amellyel a deviáció megítélni nyomást.
A membrán vákuummérő, hogy meghatározza a lehajlás a membrán optikai, de a legtöbb elektromos módszerek. Az utóbbi esetben, az eltérítési mérjük kapacitív tensoconverters vagy alkalmazza olyan eljárás, amelyben a membrán együtt az álló elektród olyan kondenzátort alkot, amelynek kapacitása változik a nyomással. Apróbb alakváltozások relatív változása kapacitás egyenesen arányos a nyomás változása. Membrán átalakítók mérését teszik lehetővé a nyomás légköri nyomás és 10 -4 Pa (mint már említettük a leírása kapacitív érzékelők).