Csiszolólemezek laza és kötött csiszolóanyaggal
A gyártás során a leggyakrabban alkalmazott módszer a gyémánt kör alakú profilok kialakítása. Az 1. lemeznek a 2 gyémánt körrel való feldolgozásának tervét a 10. ábrán mutatjuk be. Ezt a módszert alkalmazhatjuk különböző alakú csiszolók készítésére (11. Ábra, a-c). A gyakorlatban a leggyakrabban kialakított csiszolók alakulnak ki, amelyek alakja a 3. ábrán látható. 11, a. A feldolgozás során a lemezt a gép vákuumasztalára erősítik és a tengelye körül forog. A lemez forgási sebessége 10-20 fordulat / perc, a gyémánt kerék 4000-10000 rpm. A gyémánt kört a lemezre 0,4-0,7 N erővel nyomják. A körforgás tengelye a vákuumasztal forgástengelyéhez képest mozog, úgyhogy a kezelés
Ábra. 10. Az 1. ábrán látható áramkör. 11
formázó csavar Pro csiszolás:
gyémánt kör: a - lekerekített élek;
1 félvezetős lemez b - kerek periféria
2 - gyémánt kör. c - éles szélekkel.
a nikkelvegyületeket 1,5-2,5-szer alacsonyabb nyomáson őröljük, mint a szilícium. Csiszolás közben a lemezeket rendszeresen szemrevételezéssel és vastagság szabályozással látják el.
A kétoldalas őrlés mellett a lemezek egyoldalú csiszolásával széles eloszlás érhető el, amelynek sémáját a 2. ábrán mutatjuk be. 12. A 2. lemezeket helyezzük el. a 3 szeparátorba, majd nyomja meg a 4 terhelést az 1 köszörűkerékkel szemben.
Ábra. 12 Egyoldalú rendszer
Csiszolás csiszolóanyaggal:
1 - daráló, 2-lemezes, 3-szeparátor,
A csiszológépben csiszolószuszpenziót adagolunk. A feldolgozás ugyanúgy történik, mint a kétoldalú köszörülés. Ily módon különböző vastagságú lemezek őrlése lehetséges. Azonban az idegen befogás (csiszolóanyag, félvezető anyag részecskéi, fémforgácsok stb.) A lemez és a terhelés közé eshet, ami rontja a kezelés pontosságát. Ezért - gyakrabban az egyoldalas csiszolással ellátott lemezek az őrlőfejhez kapcsolódnak.
Csiszoláskor a lemezek rögzítésének három módját alkalmazzák: ragasztás, optikai érintkezés és vákuum rögzítés. A lemezek rögzítésének legfontosabb követelményei a csiszolófej felületének lemezének alapfelületének szigorú párhuzamossága, valamint a rögzítés megbízhatósága.
7. Lemezek csiszolása szabad és kötőanyaggal
A fő célja a polírozás félvezető lapkák van kijavítani a hibákat a saját geometriai forma vágás után ellenére Nate, hogy a mélység a sérült réteg polírozás után megközelítőleg azonos a vágás után, meg kell mutatni, hogy egyenletesebb mélysége megsértésének kell végezni, hogy a csiszolás.
Ábra. 13. Kétoldalas csiszolási rendszer
1 - hűtőrendszer, 2,7 - daráló,
3,6 - belső és külső fogaskerekek,
4 - elválasztók. 5 - lemezek
A csiszolószemek félvezetős ostyákra gyakorolt hatásának jellegét tekintve az őrlést megkülönböztetik egy szabad és kötött csiszolóanyaggal. A használt csiszolóanyag szemcsésségétől, a feldolgozási módoktól és a felhasznált felület minőségétől függően elkülönül az előzetes (durva) és a végső (végleges) csiszolás.
Grinding szabad csiszolóeszköz számos előnye, hogy okozott széleskörű ipari felhasználásra a félvezető szeletek Obrabotanike lemezeket látható nyomokat a felszínen a csiszolóanyag irányított mozgását, azok oldalán különböznek homogén matt fényű. Az őrlő és a megmunkált lemez önbeállításának lehetősége javítja a lemezek és a daráló geometriáját. A lemezek (merev rögzítés nélkül) szabad lefektetése esetén nincsenek feszültségek a lemezeknél, a gyártási hibák és a gépi vibrációk hatása a feldolgozás pontosságára csökken.
A lemezek kétoldali csiszolásának szabad csiszolóanyaggal való ábrázolását az 1. ábrán mutatjuk be. Az 5 lemezeket 4 elválasztókba helyezzük, amelyek lemezek formájában vannak kialakítva, külső fogazott gyűrűvel. A szétválasztók fogai a 3 és 6 fogaskerékhajtásokhoz kapcsolódnak. A 3 belső fogaskeréknek van egy külső fogaskereke, és a külső 6 fogaskerék belső. A 3 és 6 fogaskerekek elforgatásra kerülnek, és a szeparátorok a fogaskerekeken keresztül forognak. Ezzel egyidejűleg a szeparátorok körül mozgott a tengely a csiszolószerszám 2, 7. A központok a lyukakat a szeparátor nem esnek egybe a központok a szeparátor magukat, így a forgatás lemez elkövetni további mozgását körül az központok szeparátorok, elősegítve egységesebb ostya feldolgozása és egyenletes kopást a csiszolószerszám. Az alsó 7 daráló rögzítve van a gépágyhoz, és a 2 felső daráló szabadon fel van szerelve a megmunkált lemezekre.
A lemezekre ható üzemi nyomás hidraulikus eszközökkel történik, és a felső köszörűkerék továbbítja. A működési nyomás végtelenül állítható, ami lehetővé teszi a kivitelezést
Ábra. 14. A köszörűkerék kopásának formája konkáv (a) vagy konvexitás (b) formájában és annak a lemez alakjára gyakorolt hatása
folytonos átmenet a durva őrléstől a befejezésig. A fogaskerekek sebessége is végtelenül állítható, kivéve a gép indításakor és leállításakor fellépő ütéseket és ütéseket, ami fontos a félvezetők feldolgozása során. A köszörűgépek hűtési és hőmérsékletszabályozó rendszerekkel vannak felszerelve, amelyek stabil feldolgozási körülményeket biztosítanak. Állandó hőmérséklet az őrlő kiküszöböli a nem kívánt termikus deformáció a csiszolószerszám, ami csökkentheti a megmunkálási pontosság és megtartja ugyanazt viszkozitása csiszoióiszappai idején, hogy fontos, hogy állandó feldolgozási sebességet.
§ 8. A félvezető ostyák finomhangolásának módszerei polírozással
A félvezető ostyák polírozása a vágás és csiszolás során keletkező, közel felszíni szerkezeti hibás rétegek eltávolítására szolgál. Ha a szikrázó csiszol? és kémiai maratás után kijavítja a lemezek geometriai alakjának hibáit, amelyek az egyenetlen maratás miatt következnek be. Az anyag eltávolításának jellegéből adódóan a mechanikai, vegyi és kémiai-mechanikai polírozás megkülönböztethető. ;
A mechanikus polírozást mikroszkopikus részecskék vágásával végezzük a kezelendő felületen a csiszolószemcsék hatásának köszönhetően. Csiszolóanyagként szintetikus és természetes gyémántokat, króm-oxidokat, cérium-oxidokat és más anyagokat használnak.
A kéményt a lemezek polírozó burkolatba merítésével átszúrják. Annak érdekében, hogy nagyobb egységessége anyag eltávolítását a teljes felületén az ostya kazettát a lemezek forognak, így azok folyamatosan tápláljuk a friss maratószert (ábra. 15). A lemezek polírozására használt rágcsálók összetettek. A szilíciumlemezeket elsősorban a salétromsav, a hidrogénfluorid és az ecetsavak keverékében etetik, különböző összetevők arányával. Ezekben a keverékekben olyan anyagokat adhatunk hozzá, amelyek stabilizálják a maratás sebességét vagy katalizálja a reakcióit. Vegyületek A3B5 gyakran vésett vizes oldatok hidrogén-peroxid és egy sav, például kénsav, hidrogén-fluorid, hidrogén-bromid, és mások. Emellett, a kémiai polírozás végezhetjük egy gáznemű közeget.