Promoter agdezii fotoreziszt, fotoreziszt tapadásközvetítő szilárdság-és-01
Prime-szer feldolgozásához a szubsztrátum felületét, mielőtt a folyadék fotoreziszt.
Egy adhéziós-SIL 01 oldószerelegyből álló hexametildiszilazán (HMDS) és metoxi-propil-acetát (MOS-acetát). HMDS a legjobb ismert kémiai vegyületet, amely növeli a tapadást a fotoreziszt a feldolgozás a hordozó felületének párban. nitrogénáramban magas hőmérsékleten.
Az oldószer-elegyet úgy választjuk meg, hogy a kezelés után egy tapadásközvetítő SIL-A-01 előfordul hidrofób monomolekulás réteg a hordozó felületén. Ha használata helyett tiszta HMDS SIL-A-01, A azonos körülmények felületén a szubsztrátum hidrofób van egy vastag réteg, amely további termikus eljárások fotolitográfiai bomlik és átalakítjuk gázhalmazállapotú termékeket vezetnek a rétegek szétválásának a fényérzékeny film.
- Kivéve vásárlásával kapcsolatos költségek a speciális berendezések számára a szililezés a hordozó a gőz fázisban;
- Az alakzat egy hidrofób monomolekuláris réteget a szubsztrát felületén;
- Stabilitás topológia lejátszási elemeket;
- Kompatibilis pozitív és negatív fotoreziszt;
Használati utasítások
- A szubsztrátot acetonnal átöblítjük és izopropil-alkohol, vagy RCA tiszta technológia
- Eltávolításához az abszorbeált víz a hő a szubsztrát hőmérsékleten 120 0 C-on 10 percig egy forró lapon vagy egy konvekciós kemencében 120 0 C-on 30 percig.
- A szubsztrátumot lehűtjük, és erősíti a centrifuga. Agent SIL-A-01 elosztott a teljes területen a szubsztrát, vagy aeroszol-cseppecskék. Ezt követően, a centrifugát forgásba sebességgel körülbelül 3000 fordulat / perc 30 másodpercig.
- A szubsztrátot ezután állni forró lemezen hőmérsékleten 120 0 C-on 2 percig, vagy konvekciós kemencében 130 0 C-on 10 percig; Ebben a szakaszban, a szililezés a felületi hidroxilcsoportok alkotnak egy hidrofób monomolekuláris réteget.
- Lépés alkalmazásával fotoreziszt után azonnal lehűtjük a szubsztrátum és a további a szokásos módon.
Használt gépek és berendezések.
FIGYELEM! Tapadás promoter SIL-A-01 egy gyúlékony folyadék. Hexametildiszilazán reakcióba lép a vízzel képez ammónia és hexametil-disziloxán. Lenyelve ártalmas. Védjük a bőrrel való érintkezést és a szembe jutást. Nem szabad belélegezni. Tartsuk távol oxidáló szerekkel és nyitott tüzet. Óvatosan kezelje. Viseljen védőszemüveget, gumikesztyűt, védőruházat.
Tároljuk száraz helyen 10 ÷ 20 0 C-on egy szorosan lezárt, eredeti tartályban távol oxidálószerek, hő és nyílt láng. Ne tárolja napfény éri. Ne használja a lejárati időn túl - 6 hónap. Tulajdonságok tapadást erősítő STR-A-01 lassan romlik a levegővel érintkezve.
Dobja tapadásközvetítő FORCE-A-01 a fotoreziszt és más oldószereket. Megsemmisíteni háztartási hulladékkal együtt. Ne engedjük csatornába.
Megjelenés: tiszta megoldás
Csomagolás: üveg 1 literes