Porlasztással - az
porlasztás, a pusztítás a negatív elektród (katód) egy gázkisülésű hatása alatt sokkok a pozitív ionok. Tágabb értelemben - a megsemmisítése szilárd anyag, ha bombázzák töltésű vagy semleges részecskék.
K. p. Egyrészt, a nemkívánatos jelenség, csökkentve az élettartam az elektronikus eszközök (Lásd Elektromos vákuumos eszközök.); másokkal. pártok, K. p. van egy gyakorlati alkalmazása kezelésére felületek, egy anyag észlelési struktúra (ion maratás), lerakódása vékonyrétegek, irányított molekuláris sugár (Lásd. molekuláris és atomi gerendák), stb Bombázzuk ionok mélyebbre hatolnak a cél, hogy olyan eltolódást okoznak annak atomok. Ezek kényszerült atomok, viszont okozhat új elmozdulás, stb Néhány atomok ez az anyag eléri a felületet, és túlmutat azt. Bizonyos körülmények között, a részecskék elhagyják a célfelület ionok (lásd. Az ionos emisszió). A különálló kristályok a legkedvezőbb feltételeket a kibocsátás a részecskék képződnek a területeken, ahol a legnagyobb sűrűsége csomagolására atomok. Ezekben irányok képződött ütközések lánc (focusons), amelyen keresztül az energia és a lendület a részecskék kényszerült átruházott minimális veszteségekkel. Jelentős szerepet K. p. Ez játszik folyamat ion csatornázás, meghatározza azok behatolási mélység a cél (lásd. Csatornamoduláció töltött részecskék).
K. p. E ion figyelhető meg energiák egy bizonyos érték feletti E0. nevezett küszöbérték K. p. E0 értékeit a különböző elemek változik több néhányszor tíz eV. Mennyiségileg, K. p. jellemzett együttható katódporlasztással S. egyenlő az atomok számát porlasztott egy ion. Közel S nagyon kicsi (-5 10 atom / ion) küszöbérték, és optimális körülmények között S eléri több tíz. A mennyiség S nem függ a gáz nyomása alacsony nyomáson p 2 (0,1 Hgmm. V.), de amikor p> 13,3 N / m 2 (0,1 torr. Cm.) Csökken a növekvő S a részecskék száma lerakódott hátsó felületén. A nagysága S befolyásolja a tulajdonságait a bombázó ionok - az energia Ei (1. ábra), Mi tömege (a 2. ábrán), A beesési szög a céltárgy (3. ábra), és a tulajdonságait a permetezett anyag - tisztaság felületi hőmérséklet, a kristály szerkezete a tömeg a céltárgy atomokat.
Szögeloszlásának kibocsátott részecskék a porlasztás felszíni anizotrop. Ez attól függ, az ion energia és az egykristályok, mint a típusú kristályrács és szerkezete a permet arc. A csapadékot a permetezett anyag, amely képezi a képernyőn, van formájában az egyes foltok, a szimmetria a csapadék minta ugyanaz, mint a szimmetria a permet arc és kialakítva rajta eredményeként C. p. maratás számok (ábra. 4). Energia a szétszórt részecskék kezdve néhány frakcióinak eV a sorrendben az energia a primer ionok. Az átlagos energia a porlasztott részecskék jellemzően tíz eV, attól függően, hogy a tulajdonságok a célanyag és ionsugaras jellemzőit.
Lit.: Morgulis ND katódporlasztás, "Advances Fizikai Tudományok", 1946-ban, Vol. 28, a. 2-3, pp. 202; Pleshivtsev NV katódporlasztás, M. 1968 Kaminsky és M. Az atomi ion ütközések a fém felületén, a sávot. az angol. M. 1967 Thompson M. hibák és sugárkárosodás fémekben, transz. az angol. M. 1971.
Ábra. 1. A függőség együttható S porlasztás egy réz cél-bombázása ion E.
Ábra. 2. Dependence katódporlasztással együtthatót S tömegének a bombázó ionok Mi (E i = 400 eV).
Ábra. 3. A függését S a beesési szög α ionok bombázzák a felület a Cu, Ta, Fe, Pt (számok azt jelzik, ion).
Ábra. 4. felett - letétbe kialakítva egy átlátszó képernyő elhelyezett párhuzamos felületekkel fújt Cu egykristály [a - (100) arc, - egy arc (110), egy - (111)], az alján - a depresszió eredő így a felületén az arcok .
Nagy Szovjet Enciklopédia. - M. szovjet Enciklopédia. 1969-1978.
Lásd, amit a „katódporlasztás” más szótárak:
Katódporlasztás - a pusztítás a TV-t. testfelület bombázzák atomok Nonae és neutronok (első megfigyelt a pusztítás a katód a gázkisülés). Termékek porlasztás atomok, Pos. és otritsat. ionok és neutronok. és az ionizáló. al. A ... ... Fizikai enciklopédia
Katódporlasztás - permetezés anyagot (cm.) A gázkisüléses miatt pozitív ion bombázással a katód. A kisülési eszközök K. p. káros jelenség. Deposition fém K. p. arra való, hogy egy nagyon vékony (a frakció mikrométer) ... ... A legtöbb Polytechnique enciklopédia
Katódporlasztás - megsemmisítése a szilárd felület, amikor azt ionokkal bombázott. Kezdetben tekintik a megsemmisítése katódok vákuum és a gáz kisülési eszközök. Felületek tisztítására alkalmazható ... kollégiumi szótár
porlasztással - előállítása bevonó anyag a katódporlasztás gázkisülés. [GOST 9,008 82] témák fém bevonása. és nemfémes. HU katódporlasztás DE Kathodenzerstäubung FR PULVERISATION cathodique ... Directory műszaki fordító
porlasztás - katodinis dulkinimas statusas T sritis fizika atitikmenys: angl. katód szétesés; katódporlasztás; katódporlasztással vok. Katodenzerstäubung, f rus. porlasztás, N; katódporlasztás, n pranc. désagrégation de katód, f; ... ... Fizikos termínu žodynas
porlasztással - megsemmisítése a szilárd felület, amikor azt ionokkal bombázott. Kezdetben tekintik a megsemmisítése katódok vákuum és a gáz kisülési eszközök. Használt felületek tisztítására. * * * Katód porlasztó katód porlasztással, ... ... Collegiate Dictionary
porlasztás - katodinis dulkinimas statusas T sritis chemija apibrėžtis Katodo dispergavimas elektros Lanke. atitikmenys: angl. katódporlasztás rus. porlasztás ... Chemijos termínu aiškinamasis žodynas
Katódporlasztás - va permetezés szilárd felületen, amikor azt ionokkal bombázott. Kezdetben tekintik a megsemmisítése katódok vákuum és a gáz kisülési eszközök. Felületek tisztítására alkalmazható és felderítése szerkezet va (ion ... ... Big Encyclopedic Polytechnic szótár
porlasztással - [katódporlasztással] kapunk egy vékony filmet szórásos bevonási katód anyaga egy gázkisüléses; Lásd még: porlasztás gáz porlasztás, centrifugális porlasztás vizet permetez ... Collegiate Dictionary of kohászat
porlasztással - Destruction a felületi réteg a katód, amikor elektromos kisülés miatt sokkok a pozitív ionok a katódon terminológiát ... Polytechnic szótár
- Előállítási módszerek és tulajdonságainak nanoméretű tárgyak. Tankönyv. N. Minko. A kézikönyv leírja a fő módszerek megszerzésének nano-objektumok, nanorészecskék, nanostruktúrák: Nanoassembly, ionbombázással, lökéshullámok, vákuumos elpárologtatással, porlasztással, ... Tovább Vásárlás 288 rubelt
- Előállítási módszerek és tulajdonságainak nanoméretű tárgyak. Tankönyv. Minko NI A kézikönyv leírja a fő módszerek megszerzésének nano-objektumok, nanorészecskék, nanostruktúrák: Nanoassembly, ionbombázással, lökéshullámok, vákuumos elpárologtatással, porlasztással, ... Tovább Vásárlás 226 rubelt
- Előállítási módszerek és tulajdonságainak nanoméretű tárgyak. NI Minko, VV Strokova, IV Zhernovsky VM Nartsev. A kézikönyv leírja a fő módszerek megszerzésének nano-objektumok, nanorészecskék, nanostruktúrák: Nanoassembly, ionbombázással, lökéshullámok, vákuumos elpárologtatással, porlasztással, ... Tovább Vásárlás 205 UAH (Ukrajna csak)