Tükör és a gyártási módszer


A tulajdonosok a szabadalmi RU 2403595:

Szövetségi állam Egységes Enterprise „Központi Kutató Intézet Materials”, szövetségi állam Egységes Enterprise „TSNIIM” (RU)

A találmány tárgya olyan optikai mérnöki és fel lehet használni a lézertechnika, az optikai kezdve rendszerek, és egyéb területeken az optikai tervezés. A tükör áll egy szubsztrát, a távtartó és a visszaverő réteg. A szubsztrátum készült, összetett anyag előállítására, térfogat%: gyémánt - 50-75, szilícium-karbid - 20-45, szilícium-dioxid - 3-20 .. Az elválasztó réteg készül térf%: szilícium-karbid - szilícium és 10-35 - 65-90 .. Az eljárás tartalmazza egy szubsztrát, alkotó a felszínen a távtartó réteg ezt követő optikai felületkezelés és alkalmazása a fényvisszaverő réteget, amelyben az elválasztó réteget úgy állítjuk elő, impregnáljuk, folyékony szilikon, porózus szénszálas előforma, helyezzük a szubsztrátum felületén. A műszaki eredmény - a növekedés minőségi tulajdonságok egyszerűsítése gyártását tükör technológia. 2N. 1 és ZP f háttere 1. táblázat. 1 il.

A találmány tárgya olyan optikai mérnöki és különösen - a területén termelő optikai tükrök, és fel lehet használni a területén a lézeres technológiával, optoelektronikai, táp és az információs optika, optikai helyen és visszakereső rendszerek.

Ahhoz, hogy kiváló minőségű képeket egy széles működési hőmérséklet és a termikus feszültségeket tükröt kell egy nagy fajlagos merevsége, hővezető, alacsony hőmérséklet lineáris hőtágulási együttható (CTE) és a magas fokú reflexiós a kívánt hullámhossz-tartományban. Ezért hatékony design a tükrök előírja a kialakulását egy vékony visszaverő réteg, a kívánt mértékű reflexió az előre meghatározott spektrális tartományban a szubsztrát felületére olyan anyagból nagy fajlagos merevsége, magas elektromos vezetőképesség és kis CTE. A konjugáció szubsztrátum visszatükröző réteget elválasztó réteg van közöttük.

Hátrányai az ismert tükör nem eléggé nagy fajlagos merevsége a szubsztrátum készült szén-szén anyagot és az alacsony hővezető. Továbbá, a gyártás a szubsztrát készült szén-szén kompozit anyagot nehéz és hosszú időt igényel. Ez annak köszönhető, hogy a összetettsége gyártási erősítő keret szekvenciális háromdimenziós térbeli orientációja számítás rétegek szén szövet és az azt követő firmware csomag rétegek merőleges irányban, és egy nagyon hosszú időtartamú szén-mátrix szintézisét (több száz óra).

A célunk a találmánnyal az, hogy növelje a teljesítményét a tükör kombinálva egyszerűsítését hordozó gyártási technikák.

Ezt a feladatot annak a ténynek köszönhető, hogy a tükörben, amely egy szubsztrátumot kialakítva szén kompozit anyagból, egy elválasztó réteg és a visszaverő réteg, egy kompozit anyag az építés a szubsztrátum összetétele: Diamond - körülbelül 50-75%, szilícium-karbid - 20. -45 térfogat%, a szilícium -. mintegy 3-20%, az elválasztó réteg egy szilícium-karbid -. 10-35% szilícium és -. mintegy 65-90%, és a szilícium-karbid a leválasztó réteg van kialakítva a kölcsönhatása szénszálak. szilícium. Eljárás egy ilyen tükör magában megszerzése szubsztrát egy szén kompozit anyagból, alkotó a felszínen a távtartó réteg, a későbbi feldolgozását az optikai távtartó réteg és alkalmazása a fényvisszaverő réteget, ahol az alkalmazott kompozit anyag a készítményre, mivel a szubsztrátum anyagának: Diamond - mintegy 50-75%. , szilícium-karbid - 20-45 térfogat%, a szilícium -. mintegy 3-20%, és az elválasztóréteg van kialakítva impregnálással folyékony szilikon porózus szénszálas előforma, felszínére helyezzük a szubsztrátum ..

Előnyös használni kialakítására az elválasztóréteg szénszálas előforma porozitású 80-95 térf.%.

A műszaki megoldás a magyarázata a rajzon, ami azt mutatja, keresztmetszeti tükör, ahol az 1 - fényvisszaverő réteget 2 - elválasztó réteg alapuló szilíciumvegyületek, 3 - szubsztrát gyémánt kompozit anyag.

A lényege a javasolt műszaki megoldás a következő.

A tükör, amely egy háromrétegű szerkezet, beleértve a szubsztrát 3, az elválasztó réteget a 2. és a fényvisszaverő réteg 1 használják, hogy a tükör szubsztrát kompozit anyag három szakaszból, és áll gyémánt, szilícium-karbid és szilícium. Minden fázisokat alkotó anyag, van egy magas rugalmassági modulus (1100 GPa, 450 GPa, 110 GPa), kis sűrűségű (3,5 g / cm 3; 3,2 g / cm 3; 2,3 g / cm 3, sorrendben) , nagy hővezető képességű (1000 W / (mK), 100 W / (mK), 150 W / (m · K), sorrendben). Kölcsönös tengelykapcsoló a kompozit kivételes tulajdonságait. A rugalmassági modulus az anyag (E) - 600-800 GPa, a sűrűsége (ρ) - 3,3-3,4 g / cm 3. Fajlagos merevsége E / ρg = (18 ÷ 23) × 10 6 m, ahol g - gyorsulás csepp 9,8 m / sec 2. a hővezető a kompozit szubsztrát anyag - (400-600), W / (m · K) CTE - (2-2,5) × 10 -6 K -1.

A felszínen a hordozó van kialakítva egy elválasztó réteg, amely szilícium és szilícium-karbid. A választás az ilyen távtartó réteg annak köszönhető, hogy több okból is.

Része a szilícium elválasztó réteg egy nagy tapadású, hogy a szubsztrátum felületén. Ez annak a ténynek köszönhető, hogy a kompozit szerkezetet a szubsztrátum anyagának is tartalmaz szilíciumot, amely szilárd rögzítését az elválasztó réteget a hordozóanyag miatt kölcsönös penetráció között a szövetváz szilícium felszabadulású réteg és a szubsztrátum.

A fényvisszaverő réteg felületén csiszolt egy tükröt elválasztó réteg.

Így, a kombináció a javasolt műszaki megoldás, a kompozit anyag, amely egy komplex kiváló mechanikai és termikus tulajdonságai, jól tapad az eltávolítható réteget, izotrop szerkezet fizikai tulajdonságai azonosak minden irányban, és az elválasztóréteget, fogadása, és amelynek további feldolgozását high-tech, nyújt méltó előnyök tükrök gyártott, mint az ismert, nevezetesen:

- merevség jellemzői egy kívánt alakja az optikai felület, és annak stabilitását működés közben,

- nagy hővezető képességű hordozó jelentősen csökkentheti a hőmérséklet hatását a torzítás az optikai felület,

- masszív konstrukció, egyszerű és gazdaságos megvalósítását a folyamat lehetővé teszi, hogy készítsen a tükör komplex alakja (a szerkezet segítő) és nagy méretben.

Ennek eredményeként, a kapott tulajdonságok nagyobb teljesítményt eszközök, amelyek tartalmazzák a tükör. Mirror lényegesen egyszerűbb gyártási technika.

Példa megvalósításának a javasolt műszaki megoldások.

Mirror 60 mm átmérőjű és 7 mm magas a következőképpen állítjuk elő. Készítsünk töltés anyaga lehet gyémánt szemcseméretű 100-80 um (59 tömeg.%), Egy gyémánt szemcsemérete 20-14 mikron (39 tömeg.%), Fenol-formaldehid gyanta (2 tömeg.%). A töltés sajtoltuk egy lemezt, 60 mm átmérőjű, magassága 6 mm nyomáson 100 MPa. Préselés után a munkadarabot hőkezeljük 160 ° C-on két óra hosszat hőkezeltük a gyanta. Az így kapott előformát impregnálunk folyékony szilícium 1600 ° C-on Eltávolítása után a kapott felület homokfúvással szilícium hordozó tükör a többlet. Az így kapott szubsztrát kialakított egy gyémánt-tartalmú kompozit anyag.

Ezt követően, a szubsztrátum felületén alkalmazzák egy elválasztó réteg következik. A felszínen a hordozó egy szénszálas előforma 60 mm átmérőjű és 2 mm vastag szénnemez porozitású 91 térf.%. Uglevloknistuyu előforma impregnált szilícium 1500 ° C-on olvasztjuk meg közvetlenül a munkadarab felülete a hordozón. Ez termel egy kétrétegű mintát, és az alsó réteg, amely (szubsztrát) összetétele a következő: Diamond - 62 térfogat%, SiC - 32 térfogat%, Si - 6 térfogat%, és a felső réteg (elválasztó réteg) az összetétele: ..., Szilícium-karbid - 17 tf%, a szilícium -. 83 térf.%.

Ezután, a felszínen a elválasztóréteg van polírozva vastagsága 1 mm és csiszolt tükörszerű állapotban. Ezt követően, a felszínen a fényvisszaverő réteg felvitele, például ezüst. Mirror gyártott tesztelték standard eljárások szerint (lásd. Például RF számú szabadalmi 2.151.126, amelynek eredményeit mutatjuk be a táblázatban.

A találmány tárgya az optika területén, és részletesebben olyan rendszerekre tükrözi az elektromágneses sugárzás, beleértve a frekvencia-szelektív, és lehet használni, hogy hozzon létre optikai visszaverő rendszerek lézerek, mint például a félvezető, a kísérleti fizika és mások.

A találmány tárgya egy hőstabil többrétegű tükrök extrém (rövid hullámhosszú) ultraibolya (UV) spektrális tartományban, és fel lehet használni, mint egy fűtött sugárforrás kollektor tükör EUV

A találmány tárgya űrtechnológia, különösen egy telepíthető (nyilvánosságra) terjedelmes reflektorok, tükröződő reflektor (paraboloid forgástest), amely, például, az átmérője 12 m

Az infravörös reflektor áll egy fém szubsztrátum, azzal jellemezve, hogy van bevonva egy réteg cirkónium-nitrid és a króm általános képletű (ZrxCr1-X) 1-linil, ahol X értéke 0,15-0,7, és y értéke 0,01-0,265 . Eljárás amelynek értelmében olyan fém szubsztrátum; alkalmazása ezen szubsztrát nitridréteg cirkónium és króm fizikai gőzfázisú leválasztással használatával: target álló 15 és 70 tömeg% cirkóniumot tartalmaz, a fennmaradó rész lehet króm és szennyeződések, amelyek elkerülhetetlenek a kezelés során, és a nitrogén-injektálásos semleges vivőgáz arányban származó 4/16 a 16/16 egyidejű porlasztás cirkónium és a króm. Technikai eredmény: Creation infravörös reflektort, amelynek egyidejűleg magas hővisszaverő képesség és a nagy ellenállás a magas hőmérséklet korrozív vagy oxidáló közegben. 3N. 14 ZP f-ly.

A találmány tárgya bevonat a tükrök a tér, még pontosabban egy üvegesített előformák teret tükrök, biztosítva a megszerzésének lehetőségét kiváló minőségű optikai felülete a tükrök. Javasolt bevonat külső tükör üres, alkotó üveg összetétele az alábbi, tömeg%: SiO2 - 44-61 ;. B2O3 - 8-20; Al2O3 - 5-19; CaO - 3-12; Sb2O3 - 0,3-0,7; V2O5 - 2-11; Nb2O5 - 1-7; MoO3 - 0,2-4 és F - 1,5-6. A műszaki hatás - a anyag összetétele biztosítja a lehetőséget, hogy egy kiváló minőségű optikai felületet közvetlenül szubsztrátjai szilíciumkarbid anyagok. 2. táblázat.

A találmány tárgya optikai műszerek, és tárgya eljárás a gyártására távcső tükör X-ray. A módszer abból áll, hogy a munkadarab a galvanoplasztikai az alumínium ötvözet réteg nikkel ötvözet és befejező a munkafelület a munkadarab által polírozás, hogy egy kívánt felületi érdesség több szakaszban az őrlési állványra a dörzsölő készítményt. Diszpergálhatósága a csiszolóanyag készítményt csökkenteni minden egyes egymást követő szakaszban, és az utolsó szakaszban, mint egy csiszolóanyag gyanta készítményt használunk. Eltávolítása után polírozó termelnek egy shell nikkel ötvözet és felhordtuk a belső héj felületén fényvisszaverő réteg. A műszaki eredmény az a képesség, hogy a szükséges sima a munkafelület a tükör héj nélkül teljesítő szigorú követelményeket pontossággal mutató polírozó szerszám. 1 il.

A találmány szerinti befejezésénél használt és ellenőrzése nagy távcső tükrök. A tükör van szerelve egy koordináta gép forgatható asztal hátsó felületén fel. A helyek a kiegészítő tagok ragasztva nakleechnuyu gyanta hordozó fém gyűrűk vannak szerelve a beállító gyűrűt, amely úgy van elhelyezve a koordináta gépet, majd feszítőcsavarok vannak rögzítve a hordozóhoz gyűrűk. A beállító gyűrű van beillesztve a vezetőhüvely és a cserélhető rajtuk keresztül tapad a tükör támasztóelemek, majd sodorjuk, és a beállító gyűrűt vagy tartógyűrűkkel eltávolítjuk kavargó fából készült kalapács, vagy eltávolítja azokat, melegítés után és lágyító nakleechnoy gyanta. A találmány jelentős mértékben egyszerűsítését az építési eszközök ragasztás és besorolásának folyamat elemek, javítja a helymeghatározás pontossága és csökkenti az időt a művelet a ragasztás. 2 il.

A találmány alkalmazható a többrétegű, összetett bevonatok tükör térben antennák reflektorok egy polimer kompozit anyag - szén. A többrétegű bevonat, amely három egymást követő réteget egyenletes vastagságú: alsó tükör fém radiootrazhayuschy bőrréteg tiszta alumínium, egy közbenső termosztatikus védő dielektromos réteget cirkónium-dioxid és a nagy szilárdságú kopásálló felső védő gyémántszerű szén réteg. A műszaki hatás - amely működés extrém körülmények között nyitott tér segítségével a vékony héj egy polimer hordozó a kompozit anyag - szén. 2 ZP f ly-1-il-csoport.

A találmány tárgya eljárás az előállítására fényvisszaverő elem előgyártmány optikai rendszerekhez, amely tartalmaz egy előzetes kémiai-mechanikai felületkezelés slozhnoprofilnyh alkatrész, amely egy fémezett visszaverő réteg. A formáció a fémezett réteg a fényvisszaverő irídium eltávolítása után hajtjuk végre a replikák egymás után alkalmazzuk a alsó réteg után kémiai cink bevonat nikkel-foszfor réteg vastagsága 200 mikronos, amely hőkezelt a hőmérséklet-tartományban 110-400 ° C, és nagy intenzitású, hogy a polírozást 6-8 Å így replikált forma felületére, majd képezve hordozóréteggel szulfaminsav nikkel galvanizáló elektrolit összetétele az alábbi (g / l): nikkel szulfaminsav 300-400; Nikkel-diklorid 12-15; 25-40 bórsav; 0,01-0,1 nátrium-lauril-szulfát; szacharin 0,008 2,5 A / dm2 áramsűrűség, hőmérsékletét 55-60 ° C-on 8 órán át, amely után a kapott fémezett replika eltávolítjuk a mátrixból termikus sokk, és a tényleges fényvisszaverő réteg irídiumot katódporlasztásával a precíziós belső felületén egy nikkel-replikák kialakulása egy vékony falú visszaverő elem beépítésre optikai rendszerben. Ezen eljárás alkalmazása lehetővé teszi, hogy a készítmény javított optikai és geometriai paraméterek, a tapadási teljesítmény a nikkel-foszfor bevonat a mátrix és a mechanikai szilárdság. 1 pr. 1 il.


Ahhoz, hogy a pénzügyi támogatás
projekt FindPatent.ru

Kapcsolódó cikkek