ultranagy vákuumos
Sverhvysokiyv és Kuum, nagyobb vákuum mint 10 -8 Torr. Art. (1 mm Hg. V. (100 N / m 2). Ultra nagy vákuumban. Létrehozása kamrák szimulálni helyet. A különböző kísérleti beállításokat. És néhány elektronikus eszközök. Ultra nagy vákuumban. Szükséges, hogy tanulmányozza a fizikai tulajdonságok nagyon tiszta szilárd felületre, és annak fenntartása elegendően hosszú ideig. ebben a tekintetben, egy ultranagy vákuumos. definiáljuk, mint az állam egy kifinomult gáz, ahol a háló testfelület borítja egyrétegű adszorbeált gáz per időtartam £ 100 másodperc.
Nagyon alacsony nyomás, a nagy részét a gáz adszorbeálódik a felületen a vákuum berendezés, valamint oldott állapotban belül anyagot és csak egy kis része - a kiürített mennyiség. Az elérhető vákuum mértéke egyensúly határozza meg a gáz szivattyúzási sebesség és a fordulatszám belép a kiürített mennyiség miatt a gáz deszorpciós a falak, és a szivárgás a külső térből a mikroszkopikus lyukak. Az ultranagy vákuumos. in-szivárgás kívülről minimalizáljuk, és a készüléket a testtel együtt a vákuumkamra gázmentesítjük, vákuum mellett történő hőkezeléssel hőmérsékleten 300-500 ° UHV ezért általában ház a vákuumkamra készülnek sűrű, hegeszthető, korrózióálló anyagból, amelynek alacsony a gőznyomása és könnyen gázmentesítjük fűtés közben ( rozsdamentes acél üveg, kvarc, kerámia vákuum ;. vákuum lásd anyagok) ..
Hajófenék ultranagy rögzítő rendszer egy fő szivattyú után tartalmazza felmelegedést és elérésének magas vákuumban, és a kiegészítő szivattyú működik során fűtőberendezés. Mivel a tömeges szivattyúzott gáz egy ultranagy vákuumban. kicsi, a magot használunk mint a szorpció, ion-szorpciós és magnitorazryadnye vákuumszivattyúk. szivattyúzási sebességet, amely 10 6 l / sec (nagyobb berendezések), és a végső vákuumot 10 -13 Hgmm. cm. Néha használják a fő gőzbefúvókat (gőz-és higanygőz) és turbomolekuláris szivattyúk.
Mérés egy ultranagy vákuumban. elektron-ionizációs és kisülési mérők mágneses (cm. nyomtáv). Az alsó határ az a nyomás az első fotoelektromos aktuális határozzuk egy ionnal tartályt az intézkedés alapján X-ray emissziós az anód (amely a elektron besugárzás). Van ionizálásra mérők különleges design, amely a háttérben folyó csökken. A legszélesebb körben használt nyomtávú Bayard - Alpert; ion kollektor ez egy vékony axiális rúd, ami esik csak egy kis része az anód a röntgensugárzás. Alsó méréshatár
10 -10 Hgmm. Art. Modulációs az ion áram a nyomásmérő Bayard - Alpert egy speciális elektróda. sikerül mérni a nyomást 10 -11 Pa. Art. háttér-szűrő területén elektrichemkim további elektróda (szuppresszor) lehetővé teszi, hogy mérjük még alacsonyabb nyomások (különösen kombinálva egy modulációs módszer). Alkotó olyan szerkezet, amelyben a kollektor árnyékolva van a üti meg X-ray anód. A szelvény a ionizációs régió Redheda ionok extraháljuk egy lyukon keresztül a képernyőn, és egy félgömb alakú fényvető középpontjában egy vékony huzal kollektor. A manométer Helmer ion kilépő anyagáram a lyuk a képernyőn van eltérítve 90 ° -os sarok erőssége a elektrosztatikus terelő és irányítható egy sokrétű. A szelvény Groshkovskogo vékony huzal kollektor szemben található a nyílás a végén az anód rács és védve a röntgencső üveg. A leírt készülék lehetővé teszi, hogy mérjük a nyomást a 10 -12 torr. Art. és bizonyos esetekben akár 10 -13 Pa. Art.
Jelentős csökkentése az alsó határ a mért nyomások is növelésével elért elektron úthossz. A Orbitron nyomtávú nyúlás akkor segítségével elektromos mezőt, és az ionizációs magnetronos nyomásmérő (manométer Lafferty) - a mágneses mező. Ezek az eszközök lehet mérni a nyomást, hogy 10 -12 10 -13 torr. cm. Mágneses elektromos kisüléssel vákuum. mérésére használt ultranagy vákuumos. Van egy számos funkció: biztosítása gyújtás és fenntartani a kisülésből nyomást nagyon alacsony, növelje a méret a szikraköz, növeli az anód feszültség (5-6 kV) és az intenzitás a mágneses mezők (> 1000 Oe). Hogy megszüntesse a háttér áram társított az alagút kibocsátási a katód részek közelében elhelyezett anód, ezeket a részeket körülvéve földelt pajzsok.
Partsionalnyh mérésére gáznyomás egy ultranagy vákuumban. Használt tömegspektrométerek. például omegatron sikerül mérni a nyomást, hogy 10 -10 torr. Art. egy statikus kvadrupól és egyéb tömegspektrométerek -. 10 -12 -10 -13 Hgmm. cm.
GA Nichiporovich V. ultranagy vákuumos Bosov.
Is, meg lehet tanulni.